Applied Materials AMAT 0041-34851 rev 04 Base 150mm ESC Assy

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VeritySEM?关键尺寸扫描电镜(CD-SEM)量测系统

核心功能

纳米级图形尺寸测量

实时工艺监控

缺陷检测与分类

技术规格

关键技术

混合模式检测

二次电子成像（SE）

背散射电子成像（BSE）

AI驱动分析

算法性能：

- 缺陷识别准确率99.8%

- 分类速度500帧/秒

- 可检测10nm颗粒

行业应用案例

▌ASML EUV光刻配套

光刻后图形尺寸测量

曝光剂量优化依据

▌SK海力士1α nm DRAM

存储节点接触孔测量

工艺窗口扩大15%

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