AMAT 0090-09273 ESC assy 200 mm Chuck Etch chamber

SG·胜游亚洲主营AMAT TEL LAM?Varian BROOKS MKS?SMC COMET VAT等品牌半导体设备，零件。

由于FAB设备的部件型号比较多，不能一 一列举，如果有其它型号的零部件需要，请随时联系SG·胜游亚洲。

联系电话:021-6838 8387

SG·胜游亚洲SG·胜游亚洲致力于为国内半导体制造企业提供快速高效的设备，部件，耗材和维修服务。

我们跟国内外多家设备制造商，经销商，零部件贸易商，晶圆厂，高校，研究所有长期的接触和联系，我们有能力保证品质并提供有竞争力的价格。

AMAT 0090-09273 ESC assy 200 mm Chuck Etch chamber

Producer?等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统

核心功能

低k介电薄膜沉积

高深宽比间隙填充

应力可调薄膜工艺

技术规格

技术创新

双频等离子体技术

高频（27MHz）控制薄膜密度

低频（2MHz）调节应力特性

低k介质沉积

典型工艺：

- 介电常数k=2.7（传统SiO? k=4.1）

- 孔隙率30%

- 机械强度＞3GPa

行业应用案例

▌台积电5nm工艺

层间介质（ILD）沉积

RC延迟降低25%

▌三星8LPP逻辑芯片

鳍式晶体管侧墙沉积

漏电降低40%

AMAT 0090-09273 ESC assy 200 mm Chuck Etch chamber